FIS4 négyhullámú interferométer érzékelőa Zhejiang Egyetem és a szingapúri Nanyang Technological University professzoraiból álló csapat fejlesztette ki. Hazai szabadalmaztatott technológiával rendelkezik, egyesíti a diffrakciót és az interferenciát, megvalósítja a közös út négyhullámú oldalirányú nyírási interferenciáját, szuper érzékelési érzékenységgel és rezgésállósággal rendelkezik, és valós idejű, nagy sebességű dinamikus interferométeres mérést érhet el rezgésszigetelés nélkül; a valós idejű mérési kijelző képkockaszáma eléri a 10 képkockát. Ugyanakkor a FIS4 érzékelő ultra-nagy fázisfelbontása 512×512 (260 000 fázispont), a mérési sáv 200nm~15μm, a mérési érzékenység eléri a 2nm-t, és a mérés ismételhetősége jobb, mint 1/1000λ ( RMS). Használható lézersugár minőségelemzésére, plazmaáramlási tér detektálására, nagy sebességű áramlási téreloszlás valós idejű mérésére, optikai rendszer képminőség-értékelésére, mikroszkópos kontúrmérésre és biológiai sejt kvantitatív fázisú képalkotásra stb.
Egyetlen FIS4 interferencia érzékelőnyaláb interferencia optikai út
A négyhullámú interferencia-érzékelő működési elve az, hogy a detektálandó hullámfrontot véletlenszerűen kódolt hibrid rács diffrakálja, és két, egymásra merőleges irányban négy diffrakciós fény keletkezik. Ez a négy szórt fény interferál a képalkotó felületen, és négy hullámfronti oldalirányú nyírási interferencia perem érhető el.
A négyhullámú interferencia-érzékelő előnyei: az egyirányú optikai interferencia szuper erős rezgésállósággal rendelkezik, nincs szükség referenciafényre, egyszerű elrendezés, nincs szükség speciális interferencia-eszközre, gyors és egyszerű beállítás, valós idejű képalkotás, nincs fáziseltolódás eljárásra van szükség, és különösen alkalmas nagy pontosságú észlelésre gyári környezetben.
