Lézeres sík interferométer

A Laser Planar Interferometer (LPI-100) valós idejű dinamikus mérési sebességével akár 15 képkocka/másodperc is képes a síkbeli optikai elemek felületi alakjának valós idejű észlelésére 100 mm-es apertúrán belül. A mért elem felületalak-információit hordozó nyaláb egy speciálisan kódolt rácson keresztül diffraktálódik, amely oldalirányban négy részre nyírja a hullámfrontot, így négy hullámfronttal közös pályás nyíró kétdimenziós interferenciamintázatot alkot. A kétdimenziós interferencia demodulálásával az elem felületi alakjára vonatkozó információ nyerhető.

Tétel specifikációja:

A BOJIONG lézeres síkinterferométer jellemzője

◆ Akár 15 képkocka valós idejű dinamikus mérés

◆2nm RMS Nagy fázisfelbontás

◆ Szuper nagy felbontás 262144 fázisponttal

◆ Valós idejű dinamikus érzékelést tud megvalósítani, 15 képkocka/másodperc dinamikus érzékelést képes elérni

◆Független szellemi tulajdonjogokkal, költséghatékony, egyszerű beállítás, kompakt szerkezet

◆ A közös csatornás öninterferencia elve alapján a berendezésnek nincs szüksége referenciatükörre, és erős ellenállással rendelkezik Az interferencia képessége, a szokásos gyári környezetben a sík felület pontos észlelése is elérhető.

A BOJIONG lézeres síkinterferométer alkalmazása

Ez a BOJIONGLaser síkinterferométer FIS4 négyhullámú interferometrikus érzékelőkkel van felszerelve a szabványos síktükör alak érzékelésére, a feldolgozó szoftver pedig a vizsgált alkatrész felületének PV-értékét, RMS-értékét és POWER-értékét adja ki.

BOJIONG lézeres síkinterferométer Részletek

BOJIONG sík négyhullámú dinamikus interferométer általános elrendezési diagramja

A BOJIONG Laser Planar Interferometer funkcionális moduljai feloszthatók egy megvilágító fényforrás modulra, egy másodlagos sugártágító modulra, egy hordozó modulra, egy pontfókuszáló modulra, amely segíti a minta helyzetének beállítását, és egy interferometrikus szenzormodulra a minta felületének alakjának észlelésére. .

A rendszer fényforrásmodulja 632,8 nm-es központi hullámhosszú, gázhélium neonlézert alkalmaz.

A másodlagos sugártágító modul 100 mm-re bővíti a sugárméretet, megfelelve a nagy átmérőjű érzékelés követelményeinek.

A színpadrész a vizsgálandó sík optikai komponensek elhelyezésére szolgál, mint például lapos kristályok, egyszeres dobású lapkák, ablakforgácsok, sík reflektorok stb. A töltőfokozat X és Y irányban mozgó kézikerekekkel van felszerelve a minta mozgásának szabályozására. szakaszában, hogy a berendezés kibocsátott fényfoltja teljesen lefedje a vizsgálati minta felületét. Ugyanakkor két gomb is van a színpadon a minta dőlésszögének beállításához. Ezeknek a gomboknak a beállításával a vizsgálati sík merőleges az optikai tengelyre.

A képalkotó rendszer kettős kamerarendszerrel rendelkezik. Egyikük egy optikai képalkotó kamerát használ egy pontfókuszáló modul létrehozására, amely segíti a minta testtartás beállítását. A minta visszatérési pontjának valós idejű megfigyelésével a minta helyzete a mérési pontosság biztosítása érdekében beállítható. A másik út FIS4 négyhullámú interferometrikus érzékelővel van felszerelve, amely egy interferometrikus szenzormodult képez a minta felületi alakjának detektálásához. A közös út interferometrikus peremeinek rögzítésével háromdimenziós információk valós idejű visszacsatolása érhető el a vizsgálati minta felületén. A kettős kamerás rendszer egyidejűleg is működhet.

Professzionális szoftver modul

◆A "Laser Planar Interferometer" szoftverrel felszerelve képes megjeleníteni és kiadni a mért optikai elem síkjának valós idejű 3D-s képét, a PV-értékeket, az RMS-értékeket és a mért felület POWER-értékeit.

◆Eközben a szoftver támogatja a mérési eredmények nyers adatainak exportálását, kvantitatív kimutatási adatok támogatását a különböző vizsgálatokhoz, valamint lehetővé teszi a felhasználók számára az adatok elemzését és kutatását a jövőben.